高純度銅バスバースパッタリングターゲット（4N～6N）

高純度銅バスバースパッタリングターゲット – プロセスおよび品質保証に関する声明

当社の銅製バスバーターゲットは、広範囲かつ大量の物理蒸着において、広範囲にわたって均一なコーティングが不可欠となる用途向けに特別に開発されています。

主要なプロセス機能

製造工程では、高度な冶金技術と機械加工技術を用いて、安定した性能を実現しています。
●出発原料：超高純度であることが確認されたプレミアム電解銅カソードをベースとして使用します。
●真空精製：複数の真空溶解工程により、気体および金属不純物を除去し、4N～6Nレベルの純度を実現します。
●連続鋳造：制御された熱間押出または連続鋳造により、均質な構造を持つ長くて密度の高いビレットが製造されます。
●熱間加工：鍛造と圧延により結晶粒が微細化され、理論上のほぼ完全な密度を実現します。
●精密切断・加工：CNC鋸切断とフライス加工により、平行な面を持つ正確な長方形の寸法を実現します。
●表面処理：多段階の研削と研磨により、きれいで欠陥のないスパッタリング表面が得られます。
●接合オプション：ステンレス鋼またはモリブデン製の裏板への低温インジウム接合またはエラストマー接合が可能です。
●クリーンルーム包装：最終的な超音波洗浄と二重真空密封により、汚染のない状態で配送されます。

品質管理システム

● 陰極源から完成バスバーターゲットまでの完全なトレーサビリティ
● 各ユニットには、材料の完全な証明書と試験報告書が付属しています。
● 独立した検証機関（SGS、BVなど）による検証のために、3年以上保管されるアーカイブサンプル
● 必須パラメータの100%検査：
・純度検証（GDMS/ICP分析；酸素濃度は通常5ppm未満）
・密度検査（理論値99.5%以上）
・結晶粒構造の評価（金属組織学）
・寸法精度（三次元測定機；平行度：標準値≦0.1mm）
・表面品質と粗さ（表面形状測定器＋クリーンルーム検査）
● 内部仕様はASTM F68規格を上回ります。代表的な特性：熱伝導率 >395 W/m·K、安定したアークフリーのスパッタリング挙動、マグネトロンシステムにおける高い成膜速度。