高純度カスタムプロファイル銅ターゲット（4N～6N）
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主要なプロセス機能
押出成形による製造方法は、優れた材料特性と形状精度を保証します。
●高純度原料：酸素および不純物レベルが低いことが確認された厳選された電解銅。
●真空溶解および合金化：真空誘導溶解を繰り返すことで、4N～6Nの純度で均質な組成を実現します。
●ビレットの準備：円筒形のビレットに鋳造した後、均質化処理を行い、均一な結晶粒を得る。
●熱間押出成形：カスタム金型を用いた精密な熱間押出成形により、優れた密度と流動特性を備えた複雑な断面形状を実現します。
●冷間加工と焼きなまし：制御された絞り加工と熱処理により、組織を微細化し、応力を緩和します。
●精密仕上げ：CNC加工と表面研磨により、すべてのプロファイル表面に滑らかなスパッタリング面が実現します。
●接合サービス：オプションで、互換性のある裏打ちチューブまたはプレートへの低融点インジウム接合が可能です。
●クリーンルームでの取り扱い：最終洗浄と真空包装により汚染を防ぎます。
品質管理システム
● 銅カソード原料から成形済みターゲットまでの完全なトレーサビリティ
● すべての納品に包括的な認証パッケージが含まれています
● 第三者機関（SGS、BVなど）による分析のために、3年以上保管されるアーカイブサンプル
● 重要な属性の100％検査：
・純度および元素分析（GDMS/ICP-MS；典型的な酸素含有量＜5 ppm）
・密度検証（押出成形により理論値の99%以上）
・微細構造と結晶粒の均一性（金属組織学的検査）
・形状寸法精度（3D CMM測定；公差±0.1mmが標準）
・表面仕上げと欠陥のない状態（表面粗さ計＋目視検査）
● 内部規格はASTM F68の要件を上回ります。代表的な押出成形特性：優れた導電率（>400 W/m·K）、スパッタリング時の優れた形状保持性、複雑なマグネトロン構成での安定した性能。
● クリーンルーム対応の操業とISO 9001:2015認証取得済みの生産体制により、お客様の特殊なコーティングニーズに合わせた、信頼性の高い高性能な製品を保証します。
